클린룸 시스템
시스템 개요
클린룸 시스템 클린룸(Clean Room)이란 실내의 기류속도, 압력, 온·습도 등의 공조조건을 유지하는 일 외에도 공기 중의 부유먼지, 유해가스, 미생물 등 오염물질의 총량을 실의 목적과 요구기준의 일정 범위 내에 들어가도록 제어하는 청정 공간임. 클린룸은 공조의 대상에 따라 미립자를 대상으로 하는 산업용 클린룸(ICR, industrial clean room)과 생물입자를 대상으로 하는 바이오 클린룸(BCR, biological clean room)로 나뉘며, 세부적으로는 실내기류 형태, 공기순환방식, 레이아웃에 따라 분류됨.
시스템 구성도
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ICR 기술동향
산엽용 클린룸에서는 층류식, 난류식, 터널방식(병용식)등을 사용되었으나, 반도체, 액정 공정등의 미세화가 진행되고 있으며, 이에따른 엄격한 환경제어가 요구되고 더불어 에너지 절약도 중요하게 고려 되고 있어 국소 환경 방식이나, 설내를 조닝하여 VAV 방식을 적용한 저온송풍 방식이 적용되고 있으며, 향후 클린룸 공조시스템은 경량화, 콤팩트화 방향으로 진행될 것으로 판단됨.
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BCR 기술동향
ICR과 달리 작은 공간 중심으로 구성되는 BCR에서는 요구되는 청정도의 범위가 ICR보다 넓고 다양함. 또한 나노 기술 분야의 발전으로 BCR과 ICR 분야간의 기술적 융합이 적?層풔?추세임.
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