클린룸 시스템

시스템 개요

클린룸 시스템

클린룸(Clean Room)이란 실내의 기류속도, 압력, 온·습도 등의 공조조건을 유지하는 일 외에도 공기 중의 부유먼지, 유해가스, 미생물 등 오염물질의 총량을 실의 목적과 요구기준의 일정 범위 내에 들어가도록 제어하는 청정 공간임. 클린룸은 공조의 대상에 따라 미립자를 대상으로 하는 산업용 클린룸(ICR, industrial clean room)과 생물입자를 대상으로 하는 바이오 클린룸(BCR, biological clean room)로 나뉘며, 세부적으로는 실내기류 형태, 공기순환방식, 레이아웃에 따라 분류됨.

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시스템 구성도
클린룸 시스템 시스템 구성도
에너지 절감 방안

신축클린룸은 계획단계에서부터 에너지 절감 대책을 수립하는 것이 중요하며, 이에따라 각종 절감 시스템 선정과 자연 에너지 이용, 고효율 기기의 선정하는 방법으로 에너지 절약이 가능하나 운용중인 클린룸에서는 장비등의 변경없이 외기량 제어나 국소 청정화, 가습방법 개선, 폐열회수등을 통하여 에너지를 절감하는 방법이 있음. 특히나 운용중인 클린룸의 에너지 절약을 위해서 각 클린룸의 환경에 대한 기초조사 및 환경파라미터를 측정하여 정확한 클린룸의 상태를 파악하고, 에너지 절감요소를 도출하는 것이 중요함.

  • 공조에너지 절감
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  • 클린룸 환경 기초 조사
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  • 클린룸 환경파라미터 분석
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  • 에너지 절감요소 도출
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운전관리 합리화

클린룸시스템에서 운전관리 합리화는 매우 중요한 절감기법으로 적은 투자비로도 높은 절감효과를 얻을 수 있음. 운전관리 합리화의 방법에는 환기횟수 제어, 외기도입량 제어, 공조순환방식 최적화를 통한 열부하 절감과 변유량(풍량) 방식, 대수제어, 대온도차를 이용한 반송동력 절감 및 재열 중지, 과열 및 과냉의 방지를 통한 제어시스템 개선등이 있음.

  • 열부하 절감
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  • 반송동력의 절감
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  • 제어시스템 개선
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  • 운전 합리화 절감 사례 (공조기 외기 엔탈피 제어)
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폐열활용

클린룸은 순환풍량이 매우 크고 내부 발열이 커서 공조에너지의 73%에 해당하는 열을 배열시킴.
클린룸의 폐열은 배가스, 배공기, 폐온수, 폐증기 등이 있으며 그 중에서 폐온수의 비중이 가장 높고 그 다음은 배가스 순으로 폐온수의 활용을 가장 효과적임. 배가스의 화학물질등을 제외하고 열을 회수할 수 있는 전열교환기를 이용, dry cooling coil 환수의 외조기 예열이용, 수축열방식 적용 등을 통하여도 폐열을 활용할 수 있음.

  • 폐열 회수 개요
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  • 폐온수 회수
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  • 전열교환기에 의한 배기열 회수
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  • 건코일 열회수
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  • 수축열 방식
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고효율 설비 교체

클린룸시스템에서 고효율 설비 교체는 절감효과가 가장 우수한 절감방법이나 절감효과가 높은 만큼 투자비 또한 높게 형성됨. 따라서, 고효율 설비 도입은 설비 노후화로 인한 교체나 최초 설비 도입시에 가장 중점적으로 고려해야 할 사항임. 클린룸의 가습방식인 증기가습을 수분무 가습으로 전환, 고온냉동기의 채용, 고효율 펌프의 채용등으로 에너지를 절감 할 수 있음.

  • 가습기 교체
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  • 고온 냉동기 채용
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  • 고효율 팬 및 펌프 채용
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  • 고효율 설비교체 절감 사례
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