전기전자

업종개요

전기전자

전자산업에서는 플라즈마 식각, 반응 챔버의 세정 및 온도 조절을 위해 불소화합물(Fluorinated Compounds, FCs)이 이용되며, 반도체, 박막 트랜지스터 평면 디스플레이(TFT-FPD), 광전지(PV) 제조업 등이 포함된다. 실온에서 가스 상태인 CF4, C2F6, C3F8, c-C4F8, c-C4F8O, C4F6, C5F8, CHF3, CH2F2, NF3, SF6 등의 불소화합물이 사용되며, 주로 실리콘 포함 물질의 플라즈마 식각, 실리콘이 침전되어 있던 화학기상증착(CVD) 기구의 내벽을 세정하는데 사용된다. 또한 생산과정에서 사용되는 불소화합물들 중 일부분은 부산물인 CF4, C2F6, CHF3, C3F8로 전환되기도 한다. 실온에서 액체 상태인 불소화합물 중 일부 PFCs는 전자제품 제조과정에서 온도조절을 위한 열전도유체로 사용되며 TFT-FPD 세정 시에도 종종 사용된다. 전자부품을 회로보드에 납땜하는 과정 중에 대기 중으로 유출되며, 공정 중에 특정 설비를 식힐 때와, 때때로 불량 브라운관을 재가공하여 완제품화 하기 위해 브라운관 전 후면을 플루오르산과 질산으로 분리하여 세척하는 공정 중에도 외부로 유출된다.

전기전자업종 연도별 에너지사용추이
- 통계출처 :

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전체(NETIS)
전체(NETIS) 연도별 에너지 사용현황표
연도 업종 업체 수(개) 에너지사용현황(천toe)
석탄류 석유류 가스류 전력 기타
2011 전기전자 26,104 0 87 614 3,440 105 - 4,246
2012 전기전자 27,559 0 58 635 3,779 95 0 4,566
2013 전기전자 30,356 0 66 748 3,937 109 0 4,860
2014 전기전자 31,673 0 49 698 3,965 112 2 4,825
다소비사업장
다소비사업장 연도별 에너지사용현황 표
연도 업종 업체 수(개) 에너지사용현황(천toe)
석탄류 석유류 가스류 전력
2011 전기전자 221 - 36 558 2,947 3,542
2012 전기전자 230 - 37 601 3,177 3,815
2013 전기전자 254 - 4 635 3,334 3,974
2014 전기전자 269 - 3 568 3,412 3,983
에너지다소비사업자 설비별(보일러/요) 에너지 사용현황

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보일러/요/로
보일러/요/로 범위 표
연도 업종 설비명 에너지사용현황(천toe)
석탄류 석유류 가스류 전력
2011 전기전자 보일러 - 7 404 0 412
2011 전기전자 - 0 63 44 108
2011 전기전자 - 27 - - 27
2012 전기전자 보일러 - 3 470 0 772
2012 전기전자 - 0 77 39 116
2012 전기전자 - 33 0 - 33
2013 전기전자 보일러 - 2 504 0 507
2013 전기전자 - - 73 38 111
2013 전기전자 - - 0 - 0
2014 전기전자 보일러 - 1 362 0 363
2014 전기전자 - - 143 37 180
2014 전기전자 - - 0 - 0