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ICR 요소설비
산업용 클린룸(ICR, industrial clean room)을 구성하는 요소는 크게 열원시스템, 내부 순관계 공조시스템, 외기조화 시스템으로 나눌 수 있음. 클린룸의 청정도 제어에 가장 큰 영향을 미치는 순환계 공조 시스템에는 공기정화에 FFU, 열처리에 드라이 코일 적용이 일반적임.
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BCR 요소설비
바이오 클린룸(BCR, biological clean room)은 주로 의료시설이나 연구실 등에서 사용하는 설비로 ICR 에서와 같은 순환계 공조시스템을 갖추지 않고 열원시스템과 공조확기기로 구성됨.
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필터
클린룸 설비에서 가장 중요한 요소로 오염물질의 성질, 농도, 적용실의 규모, 구조 등에 의해 분류됨. 각 오염물질의 종류별로 제거 방법 및 성능이 다르게 적용되며, 이에따라 구조 및 필터의 재료도 달라짐.
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